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Fraunhofer IZM: 德国Fraunhofer IZM www.izm.fraunhofer.de 弗劳恩霍夫协会可靠性和微集成研究所多设备集成部于1998 年成立于德国萨克森地区的开姆尼斯市。基础领域是微（纳米）机电系统(MEMS) 的开发、在硅片和其他材料上制造微机电系统的技术和设备。未来，该部门还将研究应用于未来微电子、纳米电子、印刷电子系统的后段制程技术，这一技术将普遍降低智能系统的应用成本，检验智能系统的微观可靠性和纳米可靠性。不久的将来，该系统将具有更多的功能，例如：运用硅技术或非硅技术将信号传输过程、信…… 详情>

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