美国FEI   www.fei.com 
FEI 是一家生产、经营多种科学仪器的业内领先企业。 其产品包括电子和离子束显微镜，以及 可满足多个行业纳米尺度应用的相关产品，这些行业横跨： 工业和理论 材料研究、生命科学、半导体、数据存储、自然资源 等等诸多领域。

凭借过去 60 年的技术创新历史和业内领导地位， FEI 成为了透射电子显微镜 (TEM)、 扫描电子显微镜 (SEM)、整合了 SEM 与聚焦离子束 (FIB) 的 DualBeam™ 仪器和 用于精密高速切割与加工的专用聚焦离子束仪器的 性能标准。 FEI 成像系统在三维 表征、分析和修改/原型设计领域实现了 亚埃（埃：十分之一纳米）级分辨率。

FEI NanoPorts 在东京、美国俄勒冈州波特兰、荷兰埃因霍温 和中国上海均有设点，它们都是卓越中心。在这里，众多科学家、研究者以及工程师 都可在 FEI 应用专家的直接帮助下 体验世界级显微 分辨率。 本公司有近 1800 名员工，已在全球超过 50 个国家或地区开展了 销售和服务业务。



FEI 上海总办事处
中国上海市浦东
碧波路 690 号
张江微电子港 8 号楼 102室 201203
电话： 21.5027 8805
传真： 21.5027 8209

1949年 飞利浦电子光学发布了全球第一台商用透射电子显微镜

1958年 飞利浦电子光学突破10埃的透射电镜分辨率(EM200)

1971年 FEI成立，向用户提供高纯、单一取向晶体作为场发射研究的材料

1975年 飞利浦电子光学发布EM400透射电子显微镜，成为现代透射电镜发展的基础

1981年 FEI发明液体金属离子源（LMI），成为聚焦离子束（FIB）设备开发的基础

1982年 FEI第一只聚焦离子束镜筒交货

1983年 FEI交付第一个静电场聚焦电子镜筒 Micrion成立, 致力于开发掩膜修复用途的聚焦离子束系统

1985年 Micrion交付第一台聚焦离子束系统

1989年 FEI发布完整的FIB工作站

1990年 飞利浦电子光学发布PC控制的扫描电子显微镜XL系列，成为扫描电镜数字化的先驱

1990年 飞利浦第一台6“晶片样品台的扫描电镜发布

1993年 FEI和飞利浦电子光学联合发布“双束”（电子束＋离子束）工作站

1995年 FEI交付第100台聚焦离子束(FIB)系统

1996年 FEI交付第5000只液态金属离子源 Micrion发布其8000系列聚焦离子束系统, 用于IC掩膜修复

1996年 飞利浦电子光学收购美国ElectronScan公司及其”环境扫描(ESEM)”技术 飞利浦电子光学收购位于捷克布尔诺的Delmi公司

1997年 FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务 交付第一台晶片工厂的在线双束系统

1998年 FEI发布全数字化、全一体化的透射电子显微镜Tecnai

1999年 新的FEI购并美国Micrion公司

2000年 发布第一台小样品台双束系统

2001年 交付第一台安装有单色器的透射电镜

2002年 FEI收购Atomika (SIMS二次离子质谱仪)

2002年 FEI发布Quanta系列扫描电子显微镜

2003年 FEI发布科学研究和工业分析用“双束”（电子束＋离子束）工作站Quanta 3D和Nova NanoLab

2003年 FEI收购Emispec (ESVision)

2004年 FEI使用安装有单色器和球差矫正器的200kV Tecnai场发射透射电子显微镜突破1埃分辨率极限

2005年 FEI发布全球第一台超高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜Nova NanoSEM FEI发布专门用于图像矫正的透射电镜Titan 80-300, 分辨率达到0.7埃
A new universe of discovery is taking place at the nanoscale. And nanoscale access begins with FEI.

FEI is the world leader in electron optics and focused ion beam technologies. Our market-leading solutions deliver precision imaging for three-dimensional characterization, analysis and modification of materials and structures with resolution down to the sub-Ångström level. But we're far more than the proven technology innovator.

FEI is a global community of our industry-leading technical and applications specialists collaborating closely with our world-class customers who represent an accomplished list of advanced research institutes, academic centers, and industrial enterprises--all of whom share a passion for discovery. Together we are working in pioneering areas, using best-in-class imaging & analysis tools to address today's most demanding scientific and commercial challenges.

At FEI we're committed to helping our customers push the boundaries of discovery and accelerate new product commercialization. We maintain a global reach with operations in more than 50 countries to serve our customers with speed and efficiency and support their continuing success. Our NanoPorts in North America, Europe and Asia provide centers of technical and applications expertise where our customers and specialists work together on the ongoing development of new ideas and innovative solutions.