产品名称:micromotive Microtips硅微针,Multilevel silicon parts硅网格(Silicon grids),SiO2腔硅膜
品牌:德国
货号:Microtips
价格:询价
联系人:李先生
电话:18618101725

微针MicroTips:
我们在微针制造方面的技术诀窍允许实现具有不同功能的峰值。这使我们能够生产导电硅微尖端或光学透明微型尖端。根据材料和制造工艺的不同,尖端半径可以达到几纳米。除了简单的尖端之外,我们还能够提供带有附加涂层的微尖端,这些涂层可以再次在zui顶端打开。这使我们能够生产光学透明的尖端,其光孔径明显小于光的波长。此外,可以制造具有导电芯和电气屏蔽的同轴尖端。

 

规格:

  • 材料:硅、硅氧、硅3N4
  • 涂层:二氧化二、金属
  • 半径:几纳米
  • H?he:几个 10 μm
 
   
硅微尖端
 
带光圈的微尖端
 
同轴微尖端

应用:

结合其他工艺,我们可以在薄悬臂上制造微尖端,这些悬臂用作扫描探针显微镜中的传感器。

.由于尖端半径小,当施加电压时,可以实现强电场。这使得用作电场发射器的应用成为可能。此外,添加更多涂层的选项提供了在电子光学领域使用尖端的可能性。
 

悬臂上的硅微尖端

硅网格


对于光学和电子光学的应用,我们制造非常精雀的硅网格。

这些网格由具有高纵横比的硅棒制成,可以跨越大面积。高纵横比与硅的高弹性模量相结合,使有可能在机械上实现非常稳定的网格。我们制造单晶硅的网格。它们没有机械应力,因此非常平面。由于网格是在蚀刻工艺的帮助下制造的,因此我们可以生产它们而不会产生毛刺。此外,我们还可以通过进一步加工来圆凸边缘,这在高电场中使用网格时非常重要。

其他重要的特性是耐化学性,从而在生物和医疗应用中的可用性,以及高热稳定性。
 
 
硅网格,棒宽 60μm
硅网格,棒宽 5 μm

应用:

硅网格的里想应用是离子和电子光学、X射线光学、紫外光学和生物学。

由于硅棒的高机械稳定性,能量滤波器可以构建具有非常高的透射率。电子光学应用的另一个重要方面是它们没有毛刺。

通过带有X射线吸收材料的附加涂层可以实现散射辐射滤光片。

例如,在生物应用领域,细胞过滤器可以从硅网格中实现。
 
 

规格:

  • zui大网孔尺寸:100 mm
  • zui小棒材宽度:约1μm
  • 条形的纵横比:高达 15
  • 平整度: 0.3微米 / 毫米
  • zui高温度:约100°C
  • 位置公差:< 1μm
  • 特征精度:~1μm

薄膜(带SiO2 腔的硅膜)


膜是跨越一个区域的某种材料的薄层。我们可以制造由塑料,电介质,金属或硅制成的膜。可以制备结构化膜或将其他特征应用于膜上。膜的典型特性是辐射的透射率非常高,它们会作为固体材料吸收。此外,膜具有较低的导热性和热容量。因此,膜非常适合作为应尽快改变其温度的物品的载体,例如热发射器或传感器。此外,膜可以由对气体或液体具有渗透性的材料制成。

 

应用:

由于热容量低,膜非常适合实现快速热传感器和热发射器。

其他应用包括光学、X射线光学和电子光学,其中膜可以用作光学元件(如孔径或网格)的透明基板。
 
 

带 SiO2 腔的硅膜
带 SiO2 腔的硅膜
 
 

规格:

  • 材料:聚酰亚胺,SU-8,Si3N4,Si,金属
  • 厚度:几纳米到几点100μm
  • 面积:高达几平方厘米


 
 
Planar features
In planar features one material is embedded into another one in a way that the surface has a contrast in material but no topography.